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12月13日，芯源微(688037.SH)在2022年第三季度業(yè)績(jī)說(shuō)明會(huì)上表示，公司前道涂膠顯影設(shè)備在28nm及以上工藝節(jié)點(diǎn)的多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)方面取得突破；光刻膠涂覆缺陷及成本控制技術(shù)、在線式工藝缺陷檢測(cè)技術(shù)均達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。前道物理清洗機(jī)在自動(dòng)刷壓控制技術(shù)上已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。公司前道offline、I-line、KrF機(jī)臺(tái)均實(shí)現(xiàn)了批量銷售，下游客戶覆蓋國(guó)內(nèi)頭部邏輯、存儲(chǔ)、功率器件等客戶，前道Track簽單實(shí)現(xiàn)了快速放量；前道物理清洗機(jī)繼續(xù)鞏固國(guó)內(nèi)市場(chǎng)龍頭地位；后道及小尺寸銷售也符合公司簽單預(yù)期。

三季報(bào)數(shù)據(jù)顯示，芯源微2022年前三季度公司營(yíng)業(yè)總收入8.97億元，同比上升63.87%，歸母凈利潤(rùn)1.43億元，同比上升169.42%。第三季度營(yíng)業(yè)總收入3.92億元，同比上升99.93%，歸母凈利潤(rùn)7362.0萬(wàn)元，同比上升308.63%。前三季度綜合毛利率達(dá)到40.1%，同比增長(zhǎng)0.6個(gè)百分點(diǎn)，整體毛利率水平有所提升。研發(fā)費(fèi)用率達(dá)到10.57%，芯源微表示，未來(lái)公司將繼續(xù)保持高強(qiáng)度研發(fā)。

此外，針對(duì)該公司三季報(bào)，市場(chǎng)專業(yè)人士分析認(rèn)為，芯源微作為前道涂膠顯影設(shè)備國(guó)產(chǎn)領(lǐng)軍者，公司積極豐富前道涂膠顯影&清洗設(shè)備產(chǎn)品線，成長(zhǎng)空間持續(xù)打開(kāi)。1.涂膠顯影設(shè)備Off-line、I-line、KrF機(jī)臺(tái)均實(shí)現(xiàn)批量銷售，前道涂膠顯影機(jī)新簽訂單規(guī)模同比大幅增長(zhǎng)，其中I-line、KrF涂膠顯影機(jī)獲得了多家頭部晶圓廠的小批量重復(fù)訂單，向先進(jìn)制程產(chǎn)品延伸，將徹底打開(kāi)公司在涂膠顯影領(lǐng)域的成長(zhǎng)空間。2.清洗設(shè)備前道SpinScrubber單片式物理清洗機(jī)已較為成熟，成功實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代。2021年募投項(xiàng)目加碼市場(chǎng)空間更大的單片式化學(xué)清洗機(jī)，有望成為第二成長(zhǎng)曲線。

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